一阶梯度并联型SQUID电流传感器阵列以及制备方法
摘要:
本申请涉及一种一阶梯度并联型SQUID电流传感器阵列以及制备方法。两个约瑟夫森结结构间隔设置于环路电极,形成一个SQUID环路。每个环路电极形成一个封闭环路。每个SQUID环路中两个约瑟夫森结结构之间,形成了并联电感结构,可减小SQUID环路电感,使得SQUID工作时的临界电流范围更广,可以有效抵消外界磁场干扰。一个环路电极、一个第一约瑟夫森结结构与一个第二约瑟夫森结结构形成的一个SQUID环路采用一阶梯度简单结构,有利于减弱外界磁场干扰。一个环路电极对应的负极连接结构与相邻一个环路电极对应的正极连接结构连接,使得多个SQUID环路串联连接,形成了一阶梯度并联型SQUID电流传感器阵列。
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