本公开涉及一种基板固定装置、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法，基板固定装置包括：底板；以及静电吸盘，其固定至底板并且构造成通过静电力来吸附基板。静电吸盘包括：陶瓷层，其由陶瓷形成并且构造成在陶瓷层与基板接触的状态下吸附基板；第一加热图案，其布置在陶瓷层上并且构造成产生热量；隔绝树脂层，其布置在第一加热图案上以覆盖第一加热图案；第二加热图案，其布置在隔绝树脂层上并且构造成产生热量；以及导电构件，其穿透隔绝树脂层，使得导电构件的一端与第一加热图案的表面接触，并且导电构件的另一端与第二加热图案的表面接触。