本发明公开了一种铜锑硒太阳能电池光伏吸收层薄膜的制备方法，采用射频磁控溅射法依次沉积硒化锑和硒化亚铜双层预制层，分别控制溅射功率和沉积时间调节硒化锑和硒化亚铜预制层的厚度，使其成分富锑；之后进行真空退火，使预制层中的硒化亚铜和硒化锑充分反应生成铜锑硒，并提高结晶性，最终生成结晶性良好的铜锑硒薄膜。本发明制备方法由于使用磁控溅射顺序沉积工艺，适合流水线生产大面积太阳能电池，且生产过程清洁环保，为铜锑硒薄膜太阳能电池的产业化探索了一条可行之路。