一种流速传感器及制备方法、流速检测装置及方法
Abstract:
本发明涉及一种流速传感器及制备方法、流速检测装置及方法,属于流速传感器领域,流速传感器包括基底板、压电传感单元、压电驱动单元和多个相互耦合的自弯曲悬臂梁;基底板上开设一通孔;每一自弯曲悬臂梁均包括固定端和耦合端;多个自弯曲悬臂梁的固定端均匀分布于通孔周围,并分别与通孔边缘固定连接;每一自弯曲悬臂梁均沿着通孔边缘到通孔中心上方的方向从固定端到耦合端向上倾斜弯曲;自弯曲悬臂梁的耦合端分别与蛇形线的一端连接,所有蛇形线的另一端耦合连接;自弯曲悬臂梁的固定端设置有压电传感单元和压电驱动单元。通过蛇形线实现自弯曲悬臂梁的耦合,自弯曲悬臂梁能够快速同期共振,能够有效抑制环境随机噪音。
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