一种减反增透膜的成膜方法
摘要:
本发明公开了一种减反增透膜的成膜方法,一共设置了十五层的镀膜,均是使用离子源辅助的真空镀膜方法成膜的,离子源辅助镀膜可以使膜层更加致密,同时各膜层不同的厚度和膜层之间的交替都是经过考量以及检测后确定的。前十四层为交替排列的二硅化钽层和二硼化钽层,逐渐地叠加排列使得反射效果逐步降低,第十五层为六硼化锶层,能够起到进一步优化和保护作用。本发明通过离子源辅助真空镀膜的方式,结合膜层材料做到更好的增透效果,降低镜片的反射率,消除摄像头拍照鬼影的现象。
公开/授权文献
0/0