发明授权
- 专利标题: 一种减反增透膜的成膜方法
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申请号: CN202210408582.1申请日: 2022-04-19
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公开(公告)号: CN115061226B公开(公告)日: 2023-05-12
- 发明人: 徐周 , 洪金木
- 申请人: 深圳菲比特光电科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市龙岗区龙城街道嶂背社区科技园路7号(厂房)101-201(在嶂背社区嶂背创业三路4号设有生产经营场所)
- 专利权人: 深圳菲比特光电科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳菲比特光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市龙岗区龙城街道嶂背社区科技园路7号(厂房)101-201(在嶂背社区嶂背创业三路4号设有生产经营场所)
- 代理机构: 北京中仟知识产权代理事务所
- 代理商 李祥旗
- 主分类号: G02B1/115
- IPC分类号: G02B1/115 ; C23C14/02 ; C23C14/06 ; C23C14/22 ; G03B17/00 ; G03B30/00
摘要:
本发明公开了一种减反增透膜的成膜方法,一共设置了十五层的镀膜,均是使用离子源辅助的真空镀膜方法成膜的,离子源辅助镀膜可以使膜层更加致密,同时各膜层不同的厚度和膜层之间的交替都是经过考量以及检测后确定的。前十四层为交替排列的二硅化钽层和二硼化钽层,逐渐地叠加排列使得反射效果逐步降低,第十五层为六硼化锶层,能够起到进一步优化和保护作用。本发明通过离子源辅助真空镀膜的方式,结合膜层材料做到更好的增透效果,降低镜片的反射率,消除摄像头拍照鬼影的现象。
公开/授权文献
- CN115061226A 一种大角度超低反射成膜方法 公开/授权日:2022-09-16