本发明涉及一种导电层、太阳能电池及其制备方法。该导电层包括层叠设置的第一TCO层、第二TCO层、第三TCO层及第四TCO层。第一TCO层在第一气氛下制备，第一气氛为氩气及氢气的混合气体；第二TCO层在第二气氛下制备，第二气氛为氩气、氢气及氧气的混合气体，氢气分压梯度降低且氧气分压梯度增加；第三TCO层在第三气氛下制备，第三气氛为氩气及氧气的混合气体；第四TCO层在第四气氛下制备，第四气氛为氩气及氧气的混合气体，且氧气分压梯度降低；第三气氛中氧气分压不低于第二气氛中氧气分压及第四气氛中氧气分压。该导电层具有较高透过率及导电性，可提高太阳能电池的转换效率。