描述了电子装置制造设备和机器人设备。设备经配置以有效地拾取和放置基板，其中机器人设备包括上臂和独立可旋转的三个叶片B1、B2、B3。三个叶片经配置以服务第一双装载锁定和第二双装载锁定，其中每个双装载锁定包括不同的跨距。在一些实施方式中，第一跨距P1小于第二跨距P2。叶片B2和叶片B3(或可选地叶片B1和叶片B2)可以以跨距P1服务第一双装载锁定，并且可以服务包括第二跨距P2的第二双装载锁定。提供操作电子装置制造设备和机器人设备的方法，以及许多其他方面。