- 专利标题: 一种基于蝶形天线结构的拓扑增强型碲化锑太赫兹光电探测器及其制备方法
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申请号: CN202210307312.1申请日: 2022-03-25
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公开(公告)号: CN114784128B公开(公告)日: 2024-04-02
- 发明人: 张拾 , 刘昌龙 , 施超凡 , 章郑扬 , 杨程森 , 李冠海 , 陈效双
- 申请人: 国科大杭州高等研究院
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区象山支弄1号
- 专利权人: 国科大杭州高等研究院
- 当前专利权人: 国科大杭州高等研究院
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区象山支弄1号
- 代理机构: 浙江杭州金通专利事务所有限公司
- 代理商 邓世凤
- 主分类号: H01L31/032
- IPC分类号: H01L31/032 ; H01L31/0224 ; H01L31/10 ; H01L31/18
摘要:
本发明提供的一种基于蝶形天线结构的拓扑增强型碲化锑光电探测器,其特征在于:自下而上依次设置本征高阻硅衬底、二氧化硅层和碲化锑层,在碲化锑层两端是源、漏金属电极,源、漏电极与相应的引线电极相连用于连接外部测试电路。本发明的一种基于蝶形天线结构的拓扑增强型碲化锑太赫兹光电探测器及其制备方法构造出的亚波长金属蝶形天线结构,利用入射的光子耦合到拓扑材料表面,以增强入射的电磁波与碲化锑材料的相互作用,太赫兹波引起的局部表面等离子体场的不对称散射增强探测器的源漏电流,实现了室温高灵敏的太赫兹宽谱光电探测,大幅度提高了器件在太赫兹波段探测能力与信噪比。
公开/授权文献
- CN114784128A 一种基于蝶形天线结构的拓扑增强型碲化锑太赫兹光电探测器及其制备方法 公开/授权日:2022-07-22
IPC分类: