发明公开
- 专利标题: 一种晶棒的掺杂剂添加量的确定方法
-
申请号: CN202210355763.2申请日: 2022-04-06
-
公开(公告)号: CN114717647A公开(公告)日: 2022-07-08
- 发明人: 徐志群 , 汪奇 , 孙彬 , 殷小强 , 乔乐 , 张振忠
- 申请人: 广东高景太阳能科技有限公司 , 青海高景太阳能科技有限公司
- 申请人地址: 广东省珠海市横琴新区荣澳道153号4幢二层B25单元;
- 专利权人: 广东高景太阳能科技有限公司,青海高景太阳能科技有限公司
- 当前专利权人: 广东高景太阳能科技有限公司,青海高景太阳能科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省珠海市横琴新区荣澳道153号4幢二层B25单元;
- 代理机构: 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 牛丽霞
- 主分类号: C30B15/20
- IPC分类号: C30B15/20 ; C30B15/04 ; C30B29/06 ; C30B29/08
摘要:
本发明公开一种晶棒的掺杂剂添加量的确定方法,涉及半导体技术领域,能够提高晶棒的掺杂剂添加量的准确度,改善生成的晶棒的头部的电阻率的集中性。包括:根据预设的目标电阻率,确定首次投放的首次添加量;根据首次添加量、第一挥发量、第一分凝量和第一剩余量,确定第一目标添加量,第一挥发量是根据单晶炉的加热功率确定的,第一目标添加量为第二根晶棒开始等径时,第二根晶棒的电阻率达到目标电阻率时需要添加的量;根据第一目标添加量、第二挥发量、第二分凝量、第二剩余量和首根晶棒的电阻率,确定第二目标添加量,第二目标添加量为第三根晶棒开始等径时,第三根晶棒的电阻率达到目标电阻率时需要添加的量。
IPC分类: