一种晶棒的掺杂剂添加量的确定方法
摘要:
本发明公开一种晶棒的掺杂剂添加量的确定方法,涉及半导体技术领域,能够提高晶棒的掺杂剂添加量的准确度,改善生成的晶棒的头部的电阻率的集中性。包括:根据预设的目标电阻率,确定首次投放的首次添加量;根据首次添加量、第一挥发量、第一分凝量和第一剩余量,确定第一目标添加量,第一挥发量是根据单晶炉的加热功率确定的,第一目标添加量为第二根晶棒开始等径时,第二根晶棒的电阻率达到目标电阻率时需要添加的量;根据第一目标添加量、第二挥发量、第二分凝量、第二剩余量和首根晶棒的电阻率,确定第二目标添加量,第二目标添加量为第三根晶棒开始等径时,第三根晶棒的电阻率达到目标电阻率时需要添加的量。
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