发明授权
- 专利标题: 一种发光二极管外延片及其制备方法
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申请号: CN202210541077.4申请日: 2022-05-19
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公开(公告)号: CN114639760B公开(公告)日: 2022-09-02
- 发明人: 侯合林 , 谢志文 , 张铭信 , 陈铭胜
- 申请人: 江西兆驰半导体有限公司
- 申请人地址: 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号
- 专利权人: 江西兆驰半导体有限公司
- 当前专利权人: 江西兆驰半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号
- 代理机构: 南昌旭瑞知识产权代理事务所
- 代理商 彭琰
- 主分类号: H01L33/14
- IPC分类号: H01L33/14 ; H01L33/06 ; H01L33/32 ; H01L33/00
摘要:
本发明提供一种发光二极管外延片及其制备方法,所述发光二极管外延片包括:衬底,以及在衬底上依次层叠的缓冲层、三维成核层、二维恢复层、未掺杂的GaN层、N型GaN层、多量子阱层、P型电子阻挡层、P型非掺杂GaN层、P型Mg掺杂GaN层和P型接触层;P型电子阻挡层包括m个超晶格结构子层;超晶格结构子层为由nm个周期性排布的InxGa1‑xN/AlymGa1‑ymN所组成的超晶格结构;沿多量子阱层至所述P型非掺杂GaN层方向上,各个超晶格结构子层中的Al组分浓度先逐渐增高后逐渐降低。本发明解决了现有P型电子阻挡层与多量子阱层和P型GaN层间的晶格失配所带来的降低了发光二极管外延片的发光效率的问题。
公开/授权文献
- CN114639760A 一种发光二极管外延片及其制备方法 公开/授权日:2022-06-17
IPC分类: