本发明提供了一种封闭式液相法生长碳化硅的装置、系统和方法，其中装置包括：坩埚主体、上坩埚盖、上传动装置和籽晶托；其中，所述上传动装置连接在所述上坩埚盖的外壁上，用于带动所述上坩埚盖进行上下运动和/或旋转运动；当所述上坩埚盖盖在所述坩埚本体上并进行旋转运动时，所述坩埚本体内部保持封闭状态和静止状态；所述籽晶托连接在所述上坩埚盖的内壁上，所述籽晶托可跟随所述上坩埚盖的运动而运动；当所述坩埚本体内盛放有原料液时，所述籽晶托的托盘可浮在液面上，且所述托盘可在原料液浮力的变化下上下浮动。本方案，采用封闭式装置，能够保证液面稳定性，提高晶体质量。