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集成电路器件
摘要:
一种集成电路器件包括:鳍型有源区,设置在衬底上并且沿第一水平方向延伸;栅极线,设置在所述鳍型有源区上并且沿与所述第一水平方向相交的第二水平方向延伸,所述栅极线包括连接突出部分和主栅极部分,所述连接突出部分包括处于距所述衬底的第一垂直高度处的突出顶表面,所述主栅极部分包括自所述连接突出部分起沿所述第二水平方向延伸的凹陷顶表面,所述凹陷顶表面处于低于所述第一垂直高度的第二垂直高度处;栅极接触,设置在所述栅极线上并且连接到所述连接突出部分;源极/漏极区,设置在所述鳍型有源区上并且与所述栅极线相邻设置;和源极/漏极接触,设置在所述源极/漏极区上。
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