发明公开
CN114551443A 集成电路器件
审中-实审
- 专利标题: 集成电路器件
-
申请号: CN202111249646.X申请日: 2021-10-26
-
公开(公告)号: CN114551443A公开(公告)日: 2022-05-27
- 发明人: 朴容喜 , 姜明吉 , 权义熙 , 金胜圭 , 金雅煐 , 宋映锡
- 申请人: 三星电子株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市立方律师事务所
- 代理商 李娜; 王占杰
- 优先权: 10-2020-0161185 20201126 KR
- 主分类号: H01L27/088
- IPC分类号: H01L27/088 ; H01L21/8234
摘要:
一种集成电路器件包括:鳍型有源区,设置在衬底上并且沿第一水平方向延伸;栅极线,设置在所述鳍型有源区上并且沿与所述第一水平方向相交的第二水平方向延伸,所述栅极线包括连接突出部分和主栅极部分,所述连接突出部分包括处于距所述衬底的第一垂直高度处的突出顶表面,所述主栅极部分包括自所述连接突出部分起沿所述第二水平方向延伸的凹陷顶表面,所述凹陷顶表面处于低于所述第一垂直高度的第二垂直高度处;栅极接触,设置在所述栅极线上并且连接到所述连接突出部分;源极/漏极区,设置在所述鳍型有源区上并且与所述栅极线相邻设置;和源极/漏极接触,设置在所述源极/漏极区上。
IPC分类: