发明授权
- 专利标题: 炉管装卸辅助装置
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申请号: CN202210236830.9申请日: 2022-03-10
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公开(公告)号: CN114505816B公开(公告)日: 2024-05-17
- 发明人: 王琦 , 李建国 , 朱旺平
- 申请人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 彭瑞欣; 王婷
- 主分类号: B25B27/00
- IPC分类号: B25B27/00 ; B25B29/00 ; H01L21/22 ; H01L21/67
摘要:
本发明提供一种炉管装卸辅助装置,用于在卧式半导体设备的炉管安装至炉体或由炉体拆卸的过程中对炉管进行支撑,炉管装卸辅助装置包括:底座,用于可拆卸地连接于卧式半导体设备的上下料机构,以使上下料机构能够带动炉管装卸辅助装置整体沿竖直方向进行升降;支撑主体,设置在底座上,且能够相对于底座沿第一水平方向进行移动,支撑主体设有滚动支撑结构,滚动支撑结构用于支撑炉管,滚动支撑结构能够使炉管被推动时沿第二水平方向进行移动,且炉管与滚动支撑结构之间滚动配合,其中,第二水平方向与第一水平方向具有预设夹角。上述炉管装卸辅助装置进行炉管安装和拆卸的可操作性更强,从而降低设备装机及维护难度。
公开/授权文献
- CN114505816A 炉管装卸辅助装置 公开/授权日:2022-05-17