一种区熔硅单晶的放肩方法
摘要:
本发明公开了一种区熔硅单晶的放肩方法,采用平头多晶硅进行放肩,对加热功率和多晶速度的控制方式为:(1)在平头多晶放肩初始,加热功率比锥头多晶放肩初始的加热功率高20%‑30%,然后逐步降低,到硅单晶直径为30‑40mmmm时降至与锥头多晶放肩初始的加热功率相同;后续与锥头多晶放肩参数相同;(2)在平头多晶放肩初始,多晶速度为锥头多晶放肩初始的多晶速度的2‑3倍,然后迅速逐步降低,到硅单晶直径为20‑30mm时降至最低,然后随着硅单晶直径的增大,逐步增大多晶速度,在硅单晶直径为60‑70mm时,多晶速度接近锥头多晶放肩参数,后续与锥头多晶放肩参数相同。采用本发明的方法可以避免一次拉晶失败后多晶的再次磨锥加工,减少多晶损失,提升生产效率,降低生产成本。
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