FDSOI高阻结构制作方法和高阻结构
Abstract:
本发明公开了一种FDSOI高阻结构制作方法,包括以下步骤:提供一衬底;衬底顶部硅层上形成SAB膜层;SAB膜层上生长接触孔连接层;执行后续设计工艺,形成接触孔。本发明利用FDSOI Wafer具有氧化层和顶部硅层的客观条件,使用Wafer上的顶部硅层加上SAB膜层形成高阻,再通过生产NiSi连接CT形成高阻器件。本发明不仅可以节省HR这张光罩和减少工艺流程,降低生产成本,提高生产效率,而且也可以避免CT Etch工艺存在潜在的缺陷。
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