Invention Publication
- Patent Title: FDSOI高阻结构制作方法和高阻结构
-
Application No.: CN202111430241.6Application Date: 2021-11-29
-
Publication No.: CN114141694APublication Date: 2022-03-04
- Inventor: 孙淑苗 , 关天鹏
- Applicant: 上海华力集成电路制造有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
- Assignee: 上海华力集成电路制造有限公司
- Current Assignee: 上海华力集成电路制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 焦天雷
- Main IPC: H01L21/762
- IPC: H01L21/762 ; H01L27/12

Abstract:
本发明公开了一种FDSOI高阻结构制作方法,包括以下步骤:提供一衬底;衬底顶部硅层上形成SAB膜层;SAB膜层上生长接触孔连接层;执行后续设计工艺,形成接触孔。本发明利用FDSOI Wafer具有氧化层和顶部硅层的客观条件,使用Wafer上的顶部硅层加上SAB膜层形成高阻,再通过生产NiSi连接CT形成高阻器件。本发明不仅可以节省HR这张光罩和减少工艺流程,降低生产成本,提高生产效率,而且也可以避免CT Etch工艺存在潜在的缺陷。
Information query
IPC分类: