基底、发光二极管外延片及其制造方法
摘要:
本公开提供了一种基底、发光二极管外延片及其制造方法,属于半导体技术领域。所述基底包括平片衬底、以及位于所述平片衬底上的氧化铝层,所述平片衬底的与所述氧化铝层接触的一面上具有散热结构,所述散热结构在所述平片衬底的表面呈网格状布置,且所述散热结构为包括多个聚苯乙烯微球的空心球壳的结构。采用该基底可以提升发光二极管的散热,降低能耗,增加器件的高效工作能力。
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