本发明提供一种高压器件测试结构，包括：衬底和测试单元，所述衬底包括：中压IO区以及位于中压IO区两侧的两个低压核心区；所述测试单元包括：依次相连的第一焊盘、第一个第一测试部件、第二测试部件、第二个第一测试部件和第二焊盘，各所述第一测试部件分别对应设置于各所述低压核心区上，所述第二测试部件设置于所述中压IO区上。本发明还提供一种缺陷检测方法。本申请利用第一测试部件对应检测低压核心区上是否有Dummy Poly的残留以及利用第二测试部件对应检测中压IO区上是否有Dummy Poly的残留，可以针对高压器件金属栅极制程稳定性实现大量且全面的检测，提高了检测的速度和效率。