本发明提供能够通过抑制发热电阻体的热膨胀引起的塑性变形而减小发热电阻体的电阻变化，维持长期测定精度的热式传感器装置。在包括形成有开口部(2a)的基片(2)和具有以桥接开口部(2a)的方式层叠下层层叠膜(3a)、发热电阻体(5)和上层层叠膜(3b)的结构的膜片(4)的热式传感器装置(1)中，下层层叠膜(3a)的膜厚大于上层层叠膜(3b)的膜厚，下层层叠膜(3a)的平均热膨胀系数大于上层层叠膜(3b)的平均热膨胀系数，下层层叠膜(3a)由热膨胀系数不同的多个膜构成，所述多个膜中的热膨胀系数最大的膜形成在与下层层叠膜(3a)的厚度中心相比的下侧。