本发明涉及一种用于表征测试物体的表面形状的设备和方法。根据本发明的用于表征测试物体的表面形状的设备具有：测试布置(130，230)，用于使用测试波来确定测试物体(111，112，113，211，212，213)的表面形状，其中，该测试波具有由衍射光学元件处的衍射产生的波前；第一真空室(110，210)；以及第二真空室(120，220)，其中，第二真空室(120，220)具有用于存放至少两个衍射光学元件(121，122，123，221，222，223)的供应室。