- 专利标题: 干涉仪装置和用于确定干涉仪装置中的第一镜装置和第二镜装置之间的第一间距的方法
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申请号: CN201980089437.8申请日: 2019-11-12
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公开(公告)号: CN113302464A公开(公告)日: 2021-08-24
- 发明人: M·胡思尼克 , C·胡贝尔 , R·勒德尔 , B·斯泰因 , C·谢林 , C·D·克莱默
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 梁敬; 司昆明
- 优先权: 102018219778.4 20181119 DE
- 国际申请: PCT/EP2019/080917 2019.11.12
- 国际公布: WO2020/104236 DE 2020.05.28
- 进入国家日期: 2021-07-16
- 主分类号: G01J3/453
- IPC分类号: G01J3/453 ; G01J3/02 ; G01J3/26 ; G01J3/32 ; G01J3/28
摘要:
本发明提供一种干涉仪装置(1),该干涉仪装置包括:第一镜装置(SP1)和第二镜装置(SP2),所述第一镜装置和所述第二镜装置以第一间距(d12)彼此被隔开,其中所述第一镜装置(SP1)和/或所述第二镜装置(SP2)是能运动的,使得所述间距(d12)是可变的;基板(2),其中所述第一镜装置(SP1)和所述第二镜装置(SP2)叠置地布置在所述基板(2)的光学区域(OB)中,并且其中所述光学区域(OB)包括用于被所述第一镜装置(SP1)和所述第二镜装置(SP2)允许透过的电磁辐射(L)的第一辐射区域(AB1)和第二辐射区域(AB2),所述第一辐射区域和所述第二辐射区域侧向地并排延伸;滤波装置(F),该滤波装置布置在所述第二辐射区域(AB2)的光路中并且借助于该滤波装置能够确定用于所述电磁辐射(L)的波长的、依赖于第一间距(d12)的透过特征;以及探测器装置(3),该探测器装置具有布置在所述第一辐射区域(AB1)的光路中的第一探测器区域(D1)和布置在所述第二辐射区域(AB2)的光路中的第二探测器区域(D2),其中所述探测器装置(3)被设立用于在所述第一探测器区域(D1)中探测来自所述第一和第二镜装置(SP1、SP2)的第一电磁辐射并且在所述第二探测器区域(D2)中探测来自所述滤波装置(F)的第二电磁辐射(St2)。
公开/授权文献
- CN113302464B 干涉仪装置和用于确定干涉仪装置中的第一镜装置和第二镜装置之间的第一间距的方法 公开/授权日:2024-06-14