- 专利标题： 一种解决碱抛SE-PERC电池EL不良的方法
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申请号： CN202110422738.7申请日： 2021-04-20
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公开(公告)号： CN113257954B公开(公告)日： 2022-05-10
- 发明人: 张志强 , 王斌 , 戴大洲 , 赵晨 , 蒋万昌
- 申请人： 山西潞安太阳能科技有限责任公司
- 申请人地址： 山西省长治市郊区漳泽新型工业园区
- 专利权人： 山西潞安太阳能科技有限责任公司
- 当前专利权人： 山西潞安太阳能科技有限责任公司
- 当前专利权人地址： 山西省长治市郊区漳泽新型工业园区
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; H01L31/068
摘要：
本发明涉及太阳能电池生产领域。种解决碱抛SE‑PERC电池EL不良的方法，扩散过程按如下步骤进行，入舟排空，制绒后的硅片放入石英舟，然后将石英舟放入扩散炉中，通入氮气排除空气；前氧化，前氧化分两步，分别通入不同浓度的氮气和氧气，第一步在硅片表面形成深而疏的氧化层，第二步在第一步的基础上形成密而薄的氧化层；多步扩散和推进；后氧化，后氧化分三步，第一步采用恒温氧化，第二步采用恒温补源氧化，第三步采用低温氧化；出管，测试。
公开/授权文献
- CN113257954A 一种解决碱抛SE-PERC电池EL不良的方法 公开/授权日：2021-08-13
IPC分类:
