Invention Grant
- Patent Title: 用于从表面去除薄膜的设备和方法
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Application No.: CN202110080089.7Application Date: 2021-01-21
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Publication No.: CN113206017BPublication Date: 2024-06-18
- Inventor: 郝济远 , 托雷斯·帕特罗西尼奥·小·戈 , 柯定福 , 吴锴 , 孔孟凯
- Applicant: 先进科技新加坡有限公司
- Applicant Address: 新加坡义顺7道2号
- Assignee: 先进科技新加坡有限公司
- Current Assignee: 先进科技新加坡有限公司
- Current Assignee Address: 新加坡义顺7道2号
- Agency: 北京申翔知识产权代理有限公司
- Agent 艾晶
- Main IPC: H01L21/56
- IPC: H01L21/56 ; H01L21/67

Abstract:
在对位于模塑系统的第一模具和第二模具之间的衬底进行模塑之后,使用夹具组件在模塑期间将与衬底相接触的使用过的离型膜从所述模塑系统中去除,当所述第一模具和所述第二模具打开时,所述夹具组件能够在所述模塑系统外部的收缩位置与所述第一模具和所述第二模具之间的空间中的伸展位置之间往复移动。在致动器驱动所述夹具组件以夹持所述使用过的离型膜的一部分之前,其上安装有所述夹具组件的托架机构朝着所述第一模具或所述第二模具移动所述夹具组件,直到所述夹具组件与所述使用过的离型膜相接触为止。所述托架机构还将所述夹具组件从所述第一模具或所述第二模具移开,以便从所述模塑系统去除所述使用过的离型膜。
Public/Granted literature
- CN113206017A 用于从表面去除薄膜的设备和方法 Public/Granted day:2021-08-03
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IPC分类: