电磁扰动与流动聚焦制备芯片级封装用微焊球的装置
摘要:
电磁扰动与流动聚焦制备芯片级封装用微焊球的装置,涉及一种射流扰动技术和流动聚焦技术的协同配合制备10‑200μm之间均一焊球的新技术。该装置提供适用于芯片级电子封装用微焊球及其它金属微颗粒的高频高质制备。技术方案所述装置主要包括电磁扰动发生器,气液聚焦装置发生器,温控系统,气控系统和成球系统。通过合理匹配电磁扰动参数(电流频率、电流波形、电流的幅值和磁场强度)和聚焦参数以实现10‑200μm之间均一焊球的制备,该方法简单易行。
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