本发明公开了一种用于辅助调整晶圆加工设备工作盘的检测装置和方法。该检测装置包括光线发射机构、光线接收机构以及数据处理器，数据处理器通过数据连接线分别与光线发射机构及光线接收机构连接。光线发射机构具体包括一个带有可调节地脚的支架、光线发射器、XY移动机构、发射角调整机构；光线接收机构具体包括一个带有可调节地脚的支架、光线接收器、XY移动机构；数据处理器具体包括触摸屏、运动控制器和算法程序。使用该装置对晶圆加工设备工作盘进行测试，可以快速准确测量晶圆加工设备工作盘运行状态，为工艺人员提供准确的测量数据，提高工作效率。