一种硅料的清洗方法
摘要:
本发明公开了一种硅料的清洗方法,使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。
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