发明授权
- 专利标题: 一种硅料的清洗方法
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申请号: CN202011613503.8申请日: 2020-12-30
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公开(公告)号: CN112808683B公开(公告)日: 2022-06-10
- 发明人: 钱诚 , 夏振 , 杨洋
- 申请人: 江苏亚电科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
- 专利权人: 江苏亚电科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏亚电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
- 代理机构: 北京商专润文专利代理事务所
- 代理商 陈平
- 主分类号: B08B3/08
- IPC分类号: B08B3/08 ; B08B3/02 ; B08B3/10 ; B08B13/00
摘要:
本发明公开了一种硅料的清洗方法,使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。
公开/授权文献
- CN112808683A 一种硅料的清洗方法 公开/授权日:2021-05-18
IPC分类: