一种LED芯片及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种LED芯片及其制作方法,该LED芯片从下至上依次包括以下各层:外延片、改性ITO透明导电层和顶层;其中,所述外延片上表面为P‑GaN层;所述改性ITO透明导电层为等离子体轰击处理后的ITO透明导电层。其通过对P‑GaN层和ITO透明导电层进行改性,提高了P型电极及ITO透过导电层的“空穴”注入效率,从而降低了LED芯片正向电压和提升LED芯片亮度;同时提高了P型电极与ITO透明导电层的结合力。
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