微发光元件阵列基板、制备方法以及转移方法
摘要:
本发明公开了一种微发光元件阵列基板、制备方法以及转移方法,微发光元件阵列基板包括:衬底;微发光二极管芯片,呈阵列分布在衬底上,微发光二极管芯片背离衬底的表面为连接面;牺牲层,设置在连接面上,牺牲层包括至少一个第一开口;隔离层,至少部分隔离层设置在牺牲层背离微发光二级管芯片的一侧,其中隔离层填充第一开口,且隔离层在第一开口处形成连接结构,连接结构与微发光二极管芯片直接接触。本发明提供的微发光元件阵列基板能够与临时基板稳定连接,易于剥离衬底,同时能够便于微发光二极管芯片与临时基板分离,防止对微发光二极管芯片造成损伤,提高显示面板的制造良率。
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