一种半导体晶圆片花篮
摘要:
本发明提出一种半导体晶圆片花篮,包括侧板、底柱和端板,至少在侧板内侧沿其高度方向设有若干用于放置晶圆片的插槽;侧板外侧面沿端板外边缘设置;侧板底部与其相邻的底柱一侧边无缝隙连接;底柱下端面与其中一个端板的下端面连接,且在该端板远离插槽一侧面设有卡槽组件;端板除去下端面的其它侧边面均为弧形面;设有卡槽组件的端板相邻侧边面的连接处均设有转角;两个端板靠近底柱一侧的侧边面的结构不同。本发明尤其适用于大尺寸晶圆片的承载放置,不仅结构简单,强度高且稳定性好,便于生产过程的搬运,而且还可与检测机配合,使晶圆片水平、稳定地放置在检测台上,保证晶圆片放置的安全性,降低碎片率。
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