X射线测量装置的校正方法
摘要:
本发明提供一种X射线测量装置的校正方法,包括:载置工序,将校正治具载置于旋转台;移动位置获取工序,使第j个球的位置相对于第1个球的位置平行移动,向校正治具照射X射线,并从X射线图像检测器的输出中获取第j个球的投影像的重心位置相对于第1个球的投影像的重心位置的差位置的大小为规定值以下的移动位置;相对位置计算工序,对其余的球进行移动位置获取工序,根据各个移动位置来计算特定的相对位置间隔;特征位置计算工序;变换矩阵计算工序;旋转检测工序;位置计算工序;以及中心位置计算工序。由此,即使校正治具由于经年变化等而变形,例如也能够通过简单的工序容易地计算将被测定物以能够旋转的方式载置的旋转台的旋转中心位置。
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