本发明公开了一种反应雾化法制备球形氮化钛粉的方法：将钛丝材表面酸洗去氧化层；在制粉前先将雾化反应室抽真空，充入N2活性气体；通过高频感应加热设备使钛丝材预热；再通过射频等离子灯炬产生的高温N2等离子体将预热的钛丝材融化为连续的液流或液滴，同时N2等离子体与液流或液滴反应成氮化钛液滴；通过雾化喷嘴将氮化钛液滴击碎雾化为微细液滴，在液体表面张力作用下凝聚成球状，并在冷却过程中凝固保持形状，最后在气氛炉中深度氮化即得。本发明利用高频感应加热与射频等离子联合气雾化制粉技术，建立稳定的N2等离子体，通过等离子熔化及反应球化一体化过程，实现了钛与N2的高温化学反应，制备出高品质的氮化钛陶瓷球形粉。