本发明涉及一种超大规模集成电路阻抗网络模型提取方法及系统。该方法包括对多层集成电路版图进行网格剖分，得到三角形网格；对预先设定的端口依次进行编码；获取三角形网格中的网格节点到端口的权重距离；若权重距离大于权重距离阈值，则保留权重距离对应的三角形网格的网格节点；利用保留的网格节点对应的权重距离对保留的网格节点进行编码；根据保留的网格节点的编码信息，采用有限元法列写集成电路的电位场方程，得到有限元稀疏矩阵；根据有限元网格的网格节点的编码，利用三角形‑星形变换消去有限元稀疏矩阵非端口的网格节点，得到多端口网络导纳矩阵；根据多端口网络导纳矩阵提取阻抗网络模型。本发明即保证计算精度又减少计算时间。