Invention Grant
- Patent Title: 旋涂金属化
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Application No.: CN201980035026.0Application Date: 2019-04-04
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Publication No.: CN112219258BPublication Date: 2024-12-31
- Inventor: A·C·库珀 , S·V·伊瓦诺维 , 李宏波 , R·M·皮尔斯坦 , 雷新建
- Applicant: 弗萨姆材料美国有限责任公司
- Applicant Address: 美国亚利桑那州
- Assignee: 弗萨姆材料美国有限责任公司
- Current Assignee: 弗萨姆材料美国有限责任公司
- Current Assignee Address: 美国亚利桑那州
- Agency: 北京市金杜律师事务所
- Agent 吴亦华; 徐志明
- Priority: 62/653,753 20180406 US 16/365,109 20190326 US
- International Application: PCT/US2019/025852 2019.04.04
- International Announcement: WO2019/195590 EN 2019.10.10
- Date entered country: 2020-11-24
- Main IPC: H01L21/02
- IPC: H01L21/02 ; H01L21/28 ; H01L21/285 ; H01L21/67
Abstract:
本发明描述了在包含形貌的表面上导电金属膜的沉积。所述沉积使用包含中性(不带电)金属化合物的金属前体，其中金属原子处于零价状态和通过作为不带电的挥发性物质稳定的配体而稳定化。
Public/Granted literature
- CN112219258A 旋涂金属化 Public/Granted day:2021-01-12
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IPC分类:
