Invention Publication
CN111819686A 电路管芯和互连件之间的自动对准
无效 - 撤回
- Patent Title: 电路管芯和互连件之间的自动对准
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Application No.: CN201980017362.2Application Date: 2019-02-27
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Publication No.: CN111819686APublication Date: 2020-10-23
- Inventor: 安基特·马哈詹 , 米哈伊尔·L·佩库罗夫斯基 , 撒格尔·A·沙 , 托马斯·J·梅茨勒 , 卡拉·A·迈耶斯 , 詹姆斯·朱 , 特雷莎·M·格代尔 , 柳德米拉·A·佩库罗夫斯基 , 乔纳森·W·肯灵 , 杰里米·K·拉森
- Applicant: 3M创新有限公司
- Applicant Address: 美国明尼苏达州
- Assignee: 3M创新有限公司
- Current Assignee: 3M创新有限公司
- Current Assignee Address: 美国明尼苏达州
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 梁晓广; 李金刚
- Priority: 62/639,234 2018.03.06 US
- International Application: PCT/IB2019/051585 2019.02.27
- International Announcement: WO2019/171214 EN 2019.09.12
- Date entered country: 2020-09-04
- Main IPC: H01L23/528
- IPC: H01L23/528 ; H01L23/00 ; H01L23/29 ; H01L25/065 ; H01L23/31
Abstract:
本发明公开了用于固体电路管芯和导电互连件之间的自动对准的方法以及通过该方法制造的制品或装置。固体电路管芯设置在基底的对准区域处。流体通道延伸到对准区域中并且具有位于固体电路管芯的底表面下方的一部分。导电迹线通过使通道中的导电液体朝向电路管芯的底表面上的接触垫流动而形成，以获得自动对准。
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