发明授权
- 专利标题: 用于形成三维存储器件的方法
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申请号: CN202080001145.7申请日: 2020-05-27
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公开(公告)号: CN111801797B公开(公告)日: 2021-05-25
- 发明人: 张坤
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 代理机构: 北京永新同创知识产权代理有限公司
- 代理商 杨锡劢; 赵磊
- 国际申请: PCT/CN2020/092506 2020.05.27
- 进入国家日期: 2020-06-29
- 主分类号: H01L27/11563
- IPC分类号: H01L27/11563 ; H01L27/11568 ; H01L27/11578
摘要:
公开了3D存储器件及其形成方法的实施例。在示例中,公开了一种用于形成3D存储器件的方法。依次形成处于衬底上的牺牲层、处于牺牲层上的具有N阱的P型掺杂半导体层以及处于P型掺杂半导体层上的电介质堆叠体。形成垂直地延伸穿过电介质堆叠体和P型掺杂半导体层的沟道结构。利用存储堆叠体代替电介质堆叠体,使得沟道结构垂直地延伸穿过存储堆叠体和P型掺杂半导体层。去除衬底和牺牲层,以暴露沟道结构的末端。利用半导体插塞代替沟道结构的与P型掺杂半导体层邻接的部分。
公开/授权文献
- CN111801797A 用于形成三维存储器件的方法 公开/授权日:2020-10-20
IPC分类: