目的在于提供能够对光强度进行监视，不会对在光波导传播的光的光分布造成影响，不会使入射侧的光元件的特性恶化的半导体光集成器件。半导体光集成器件(200)为将传播光的第一光元件(61)、监视用光波导(62)、第二光元件(63)形成于相同的半导体基板(1)的半导体光集成器件，监视用光波导(62)与第一光元件(61)连接，第二光元件(63)与监视用光波导(62)连接。监视用光波导(62)具有光散射部(7)，该光散射部(7)构成为，组合了具有不同的模场直径的光波导，使光的一部分散射，对由光散射部(7)散射后的散射光进行受光的光检测器(65)设置于监视用光波导(62)的外周或半导体基板(1)的与光散射部(7)相反侧的背面。