镀层装置以及镀层系统
摘要:
本发明提供一种可合适地测量微均镀能力的镀层装置。本发明的第一镀层装置(1A)具备:第一阳极(12A),其设置在第一镀层槽(11A)内;绝缘性基材(4),其设置在第一镀层槽(11A)内且具有孔部(5);一对第一阴极(13AX、13AY),其分別设置在孔部(5)的底部与绝缘性基材(4)中的孔部(5)的开口侧的表面;第一镀层电源(14A),其用于在第一阳极(12)与一对第一阴极(13AX、13AY)之间流动电流;以及第一电流计测电路(22A),其计测在一对第一阴极(13AX、13AY)的各自流动的电流值。
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