本发明公开了一种高氮低氧氮化硅钒铁合金及其制备方法，属于铁合金技术领域。其成分按重量百分比组成：钒30％-34％,硅10％-15％,氮14％-16％，氧≤0.8％，C≤0.3％，硫≤0.03％,磷≤0.05％，余量为Fe。本发明的高氮低氧氮化硅钒铁合金的制备方法，在0.18-0.2MPa的微正压生产，分两步在不同的温度下分别对钒和硅进行氮化，充分的保证了钒和硅的氮化效果，提高了合金中的含氮量；同时本发明的制备方法的原材料选用的是外购的硅钒铁为原料，费用低，原料产品中各组分含量可控，工艺路线简单，同时，采用高真空烧结炉进行氮化反应，可以大批量进行生产，可以在工业上大规模应用。