发明授权
- 专利标题: 新型晶圆半导体生产辅助设备
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申请号: CN202010058708.8申请日: 2020-01-19
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公开(公告)号: CN111229711B公开(公告)日: 2021-11-23
- 发明人: 吴明 , 俞伟
- 申请人: 浙江蓝特光学股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市秀洲区洪合镇洪福路1108号
- 专利权人: 浙江蓝特光学股份有限公司
- 当前专利权人: 浙江蓝特光学股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市秀洲区洪合镇洪福路1108号
- 代理机构: 嘉兴中创致鸿知识产权代理事务所
- 代理商 姚海波
- 主分类号: B08B3/10
- IPC分类号: B08B3/10 ; B08B3/14 ; B08B1/02 ; B08B13/00 ; H01L21/67
摘要:
本发明涉及晶圆半导体技术领域,且公开了新型晶圆半导体生产辅助设备,包括清洗箱,清洗箱的内部设置有一个清洗框,清洗框的表面开设有漏水孔,清洗框的内壁上端铰接有一块矩形盖板,清洗框的上表面固定连接有把手,清洗框的底板上等距均匀固定连接有矩形挡板,该新型晶圆半导体生产辅助设备,通过电机的转动带动转轴的转动,转轴的转动带动凸轮的转动在配合弧形杆,从而可以使弧形杆进行上下移动,弧形杆的上下移动带动漂洗板的上下移动,漂洗板的上下移动的带动清洗框进行上下移动,从而对清洗框内部的晶圆进行上下抖动的清洗,通过这样漂洗的方式不仅可以使用大批量的清洗,还可以使晶圆清洗的更加干净。
公开/授权文献
- CN111229711A 新型晶圆半导体生产辅助设备 公开/授权日:2020-06-05
IPC分类: