发明授权
- 专利标题: 晶片生成装置
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申请号: CN201910991284.8申请日: 2019-10-18
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公开(公告)号: CN111106032B公开(公告)日: 2024-08-23
- 发明人: 饭塚健太吕 , 大宫直树
- 申请人: 株式会社迪思科
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 乔婉; 于靖帅
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/677 ; B23K26/53
摘要:
提供晶片生成装置,能够从锭自动地生成晶片。该晶片生成装置包含:锭磨削单元,其对锭的上表面进行磨削而平坦化;激光照射单元,其将对于锭具有透过性的波长的激光光线的聚光点定位在距离锭的上表面相当于要生成的晶片的厚度的深度而对锭照射激光光线,形成剥离层;晶片剥离单元,其将晶片从锭剥离;以及托盘,其具有对所剥离的晶片进行支承的支承部。晶片生成装置还包含:传送带单元,其对托盘所支承的锭进行搬送;锭存放装置,其对托盘所支承的锭进行收纳;以及锭交接单元,其将托盘所支承的锭从锭存放装置交接至传送带单元。
公开/授权文献
- CN111106032A 晶片生成装置 公开/授权日:2020-05-05
IPC分类: