- 专利标题: 一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件
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申请号: CN201910913154.2申请日: 2019-09-25
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公开(公告)号: CN110715697B公开(公告)日: 2021-02-09
- 发明人: 付新菊 , 张恒 , 吕泰增 , 关威 , 刘旭辉 , 汪旭东 , 龙军 , 李秀堂 , 石召新 , 杨灵芝 , 王平 , 蒋庆华 , 李恒建 , 王宇
- 申请人: 北京控制工程研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区北京2729信箱
- 专利权人: 北京控制工程研究所
- 当前专利权人: 北京控制工程研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北京2729信箱
- 代理机构: 中国航天科技专利中心
- 代理商 胡健男
- 主分类号: G01F1/692
- IPC分类号: G01F1/692 ; G01F15/00 ; G01F15/14
摘要:
本发明提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件,包括测量元件、陶瓷电连接器、流道组件。测量元件用于感受被测流体流量,将流量信号转化为变化的电阻阻值信号,进而转化为电压模拟量的变化;陶瓷电连接器用于承载测量元件,通过陶瓷材料上的导电薄膜将测量元件所测信号输出,同时与流道组件配合,起到承压与密封作用;流道组件承载被测流体,形成层流换热通道,同时跟陶瓷电连接器配合。本发明结构简单、可靠性高、尺寸小、重量轻,适合于微克级气体的高精度测量。
公开/授权文献
- CN110715697A 一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件 公开/授权日:2020-01-21