一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件
摘要:
本发明提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件,包括测量元件、陶瓷电连接器、流道组件。测量元件用于感受被测流体流量,将流量信号转化为变化的电阻阻值信号,进而转化为电压模拟量的变化;陶瓷电连接器用于承载测量元件,通过陶瓷材料上的导电薄膜将测量元件所测信号输出,同时与流道组件配合,起到承压与密封作用;流道组件承载被测流体,形成层流换热通道,同时跟陶瓷电连接器配合。本发明结构简单、可靠性高、尺寸小、重量轻,适合于微克级气体的高精度测量。
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