结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统
摘要:
结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统,通过结合像散定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统,不需要搭建复杂的激光差动共焦系统,避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、精度高的测量,具有结构简单、装调方便的优点。
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