- 专利标题: 结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统
-
申请号: CN201911158883.8申请日: 2019-11-22
-
公开(公告)号: CN110686617B公开(公告)日: 2021-03-30
- 发明人: 郝群 , 胡摇 , 陶鑫 , 宁悦文
- 申请人: 北京理工大学
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学
- 专利权人: 北京理工大学
- 当前专利权人: 北京理工大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学
- 代理机构: 北京市中闻律师事务所
- 代理商 冯梦洪
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24 ; G01B11/255 ; G01B11/02
摘要:
结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统,通过结合像散定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统,不需要搭建复杂的激光差动共焦系统,避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、精度高的测量,具有结构简单、装调方便的优点。
公开/授权文献
- CN110686617A 结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统 公开/授权日:2020-01-14