摘要：
本发明涉及一种基于原子力显微镜(AFM)扫描探针的力学响应测量工具。所述力学响应测量工具是将AFM扫描探针和两个胶体微球粘接，利用一个胶体球取代扫描探针针尖与样品表面接触，另一个胶体微球粘在探针末端处于半悬空状态，可参与到视觉传感的定位中。位于扫描探针下方的微球改善了力负载的加载方式，而半悬空微球保留了一半球的特征，在微纳精度的视觉定位中有较好的鲁棒性。
公开/授权文献
- CN110658361A 基于原子力显微镜(AFM)扫描探针的力学响应测量工具 公开/授权日：2020-01-07
