Invention Publication
- Patent Title: 一种P型全接触钝化太阳能电池的制备方法
- Patent Title (English): Preparation method for P-type full-contact passivation solar cell
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Application No.: CN201910733946.1Application Date: 2019-08-09
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Publication No.: CN110571149APublication Date: 2019-12-13
- Inventor: 钱洪强 , 李跃 , 张树德 , 鲁科 , 魏青竹 , 倪志春
- Applicant: 苏州腾晖光伏技术有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园
- Assignee: 苏州腾晖光伏技术有限公司
- Current Assignee: 苏州腾晖光伏技术有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园
- Agency: 苏州创元专利商标事务所有限公司
- Agent 李萍
- Main IPC: H01L21/311
- IPC: H01L21/311 ; H01L21/306 ; H01L31/18

Abstract:
本发明公开了一种P型全接触钝化太阳能电池的制备方法,其能够消除背面氧化物薄层和多晶硅或非晶硅薄层的正面绕镀现象。所述制备方法依次包括如下步骤:A、对P型硅片进行制绒,且对制绒后硅片的背面进行刻蚀抛光;B、在硅片背面制备氧化物薄层,在氧化物薄层上制备多晶硅或非晶硅薄层;C、对多晶硅或非晶硅薄层进行硼掺杂;D、硅片以背面向上的方式经过刻蚀液,去除硼硅玻璃和硅片正面氧化物薄层及多晶硅或非晶硅薄层绕镀;E、在硅片背面的掺杂多晶硅薄层上制备氮化硅层;F、硅片正面酸洗后再次制绒,并进行磷掺杂;G、酸洗去除磷硅玻璃后,进行硅片正面热氧化;H、硅片正面镀氮化硅层;I、制作电极。
Public/Granted literature
- CN110571149B 一种P型全接触钝化太阳能电池的制备方法 Public/Granted day:2022-09-27
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IPC分类: