本发明公开了一种超薄二氧化钒薄膜的简易制备方法，其特征在于，利用磁控溅射镀膜仪溅射金属钒靶，通过控制溅射时间在蓝宝石基底上镀膜，得到金属钒薄膜；将金属钒薄膜置于快速退火炉内，然后在氩气和空气混合气体氛围下进行氧化处理，再将氧化后的薄膜取出并在空气中自然冷却，获得超薄二氧化钒薄膜。本发明操作简单、重复性高、制备的薄膜质量好，通过透射电子显微镜、原子力显微镜、四探针测试仪和光谱测试分析表明，所制备的超薄二氧化钒薄膜具有结晶度高、表面光滑、电阻变化明显以及可见光区域透过率较高等特性。