一种方形件的夹持装置及搬运系统
摘要:
本发明公开了一种方形件的夹持装置及搬运系统,用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件,所述夹持装置包括:框架,所述框架中固定设置有水平状态的第一滑轨、第二滑轨;第一气缸,所述第一气缸的主体滑动设置在所述第一滑轨上,所述第一气缸的活塞固定连接在所述框架上,所述第一气缸的活塞位于所述第一气缸的主体的左侧;第二气缸,所述第二气缸的主体滑动设置在所述第二滑轨上,所述第二气缸的活塞固定连接在所述框架上,所述第二气缸的活塞位于所述第二气缸的主体的右侧;左臂;以及右臂。本发明的利用两反向动力产生第一水平臂和第二水平臂的平行反向运动,再带动竖直夹具精密稳固夹持方形件。
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