一种温度检测装置的制备方法
摘要:
本发明实施例公开了一种温度检测装置的制备方法,通过直接在温度检测装置的温度敏感元件上形成键合层,并基于CIS(CMOS Image Sensor)键合减薄工艺平台,采用混合键合的工艺将信号读取芯片通过键合层与温度传感芯片键合,并对衬底进行减薄,能够简化温度检测装置的制备工艺,提高产品良率,降低成本,实现批量化生产。
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