有机薄膜晶体管及其制备方法
摘要:
本发明涉及有机电子器件技术领域,尤其涉及一种有机薄膜晶体管及其制备方法。所述有机薄膜晶体管,包括:衬底;第一栅极,位于所述衬底表面;第一栅绝缘层,位于所述衬底表面且覆盖所述第一栅极;源极,位于所述第一栅绝缘层表面;漏极,位于所述第一栅绝缘层表面;掺杂有机半导体层,至少覆盖所述源极、所述漏极以及位于所述源极和所述漏极之间的沟道区域;第二栅绝缘层,覆盖于所述掺杂有机半导体层表面;第二栅极,位于所述第二栅绝缘层表面。本发明在保证有机薄膜晶体管具备低接触电阻的同时,能够实现对阈值电压的调控。
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