发明公开
- 专利标题: 用于将芯片接合至基底的方法和系统
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申请号: CN201780053265.X申请日: 2017-07-25
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公开(公告)号: CN109690758A公开(公告)日: 2019-04-26
- 发明人: 加里·阿鲁季诺夫 , 埃德斯格·康斯坦特·彼得·斯米茨 , 耶伦·万登布兰德
- 申请人: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
- 申请人地址: 荷兰海牙
- 专利权人: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
- 当前专利权人: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
- 当前专利权人地址: 荷兰海牙
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 蔡胜有; 苏虹
- 优先权: 16181184.9 2016.07.26 EP
- 国际申请: PCT/NL2017/050504 2017.07.25
- 国际公布: WO2018/021912 EN 2018.02.01
- 进入国家日期: 2019-02-28
- 主分类号: H01L23/00
- IPC分类号: H01L23/00 ; B23K1/00 ; B23K1/005 ; H05K3/34
摘要:
一种方法和系统,用于通过设置在芯片与基底之间的热接合材料将芯片热接合至基底。将至少基底从初始温度预热至低于基底的损坏温度的升高的温度。向芯片施加的光脉冲将芯片温度瞬间升高至低于芯片的峰值损坏温度的脉冲峰值温度。芯片的瞬间升高的脉冲峰值温度引起从芯片至接合材料的传导热的流,引起接合材料形成接合。
公开/授权文献
- CN109690758B 用于将芯片接合至基底的方法和系统 公开/授权日:2023-06-13
IPC分类: