一种内加热式吸气剂泵
摘要:
本发明涉及一种内加热式吸气剂泵,包括吸气元件1、支撑体、定位板5、底座6,所述支撑体包括中心支撑棒2与圆筒状镂空薄壳4,所述中心支撑棒2与所述圆筒状镂空薄壳4通过定位板5相连;所述定位板5和圆筒状镂空薄壳4通过中心支撑棒2固定到所述底座6上;泵体具有多个吸气元件1,并通过细金属棒11均布地固定在定位板5上;底座6为高真空CF法兰,以螺纹形式连接泵体中心支撑棒2,并通过可伐合金内嵌四个真空电极7,连接泵体内部加热系统、热电偶和外部电源。本发明的内加热式吸气剂泵采用内加热型柱状吸气元件,加热效率高、激活均匀,并具有较高的吸气速率。
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