- 专利标题: 一种基于PVD技术的块体金属陶瓷材料及其制备方法和应用
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申请号: CN201910074239.6申请日: 2019-01-25
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公开(公告)号: CN109652764B公开(公告)日: 2021-01-15
- 发明人: 陈汪林 , 李炳新 , 王成勇 , 颜安
- 申请人: 广东工业大学
- 申请人地址: 广东省广州市番禺区大学城外环西路100号
- 专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市番禺区大学城外环西路100号
- 代理机构: 广州粤高专利商标代理有限公司
- 代理商 林丽明
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C14/54
摘要:
本发明涉及一种基于PVD技术的块体金属陶瓷材料及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤:S1:将基片设置于PVD设备转架上,控制靶材工作面与基片正对,且两者的距离为7~50 cm;S2:控制靶材电流密度为150~300 A,基体偏压为0~‑40 V,沉积时间10~30 h,即得所述块体金属陶瓷材料。本发明通过优化靶材与基片之间的间距、靶材电流密度、基体偏压、沉积时间等核心工艺参数,使得基体负变压作用,实现了块体金属陶瓷材料的制备;制备得到的金属陶瓷组织致密,晶粒细小,硬度和强度高,断裂韧性好,具有优异的热稳定性、抗腐蚀和抗高温氧化性能,力学、物理和化学性能优异。
公开/授权文献
- CN109652764A 一种基于PVD技术的块体金属陶瓷材料及其制备方法和应用 公开/授权日:2019-04-19
IPC分类: