一种基于PVD技术的块体金属陶瓷材料及其制备方法和应用
摘要:
本发明涉及一种基于PVD技术的块体金属陶瓷材料及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤:S1:将基片设置于PVD设备转架上,控制靶材工作面与基片正对,且两者的距离为7~50 cm;S2:控制靶材电流密度为150~300 A,基体偏压为0~‑40 V,沉积时间10~30 h,即得所述块体金属陶瓷材料。本发明通过优化靶材与基片之间的间距、靶材电流密度、基体偏压、沉积时间等核心工艺参数,使得基体负变压作用,实现了块体金属陶瓷材料的制备;制备得到的金属陶瓷组织致密,晶粒细小,硬度和强度高,断裂韧性好,具有优异的热稳定性、抗腐蚀和抗高温氧化性能,力学、物理和化学性能优异。
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